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三星申請用于CMOS圖像傳感器的像素單元專利,像素晶體管區(qū)域與像素光電二極管區(qū)域可以進行隔離

發(fā)布時間:2024-05-11 22:23:17來源: 152102

界2024年5月11日消息,據(jù)國家知識產(chǎn)權局公告,三星電子株式會社申請一項名為“用于CMOS圖像傳感器的像素單元“,公開號CN118016682A,申請日期為2023年11月。

專利摘要顯示,一種用于CMOS圖像傳感器的像素單元包括將像素晶體管區(qū)域與像素光電二極管區(qū)域隔離的隔離結構。在圖像傳感器的前側處,隔離結構包括第一淺溝槽隔離(STI)結構、第二STI結構、在第一STI結構和第二STI結構之間的半導體區(qū)域以及由p型半導體形成的注入?yún)^(qū)域,該注入?yún)^(qū)域與半導體區(qū)域接觸并朝向圖像傳感器的背側延伸。半導體區(qū)域由第一類型半導體形成。在圖像傳感器的背側處,隔離結構包括從背側朝向前側延伸并接觸注入?yún)^(qū)域的溝槽隔離結構。

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